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科技创新

我国首条光刻用石英玻璃基板成套出产线建成

起源:中国构筑资料科学钻研总院  颁布功夫:2016-06-12

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  近日 ,,, ,,,,,PG电子总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色造作技术 ,,, ,,,,,在株洲成立了国内首条从基板原资料造作到产品加工的成套出产线。。。 。 。。。该出产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板 ,,, ,,,,,突破了石英玻璃基板原资料及产品持久依赖进口的局面。。。 。 。。。

       该出产线的成立 ,,, ,,,,,是PG电子总院承担的“十二五”国度科技支持打算“高机能石英玻璃、微晶玻璃等特种资料关键技术研发及示范”课题的成就之一。。。 。 。。。石英玻璃基板是集成电路芯片造作工艺中的主题器件 ,,, ,,,,,市场需要量巨大。。。 。 。。。作为石英玻璃基板的原资料 ,,, ,,,,,合成石英玻璃拥有热不变性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多利益。。。 。 。。。然而 ,,, ,,,,,受原资料纯度、均匀性及加工精度、硬脆个性等造约 ,,, ,,,,,我国石英玻璃基板持久依赖进口。。。 。 。。。

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  作为我国唯一专业从事石英玻璃钻研的科研院所 ,,, ,,,,,PG电子总院石英院依附浙江株洲高新园区的化工资源 ,,, ,,,,,形成了循环经济产业链 ,,, ,,,,,成立了高机能石英玻璃研发基地 ,,, ,,,,,并成立中建材株洲金格兰石英有限公司。。。 。 。。。经科研人员不懈致力 ,,, ,,,,,形成一套切合我国行业近况与发展趋向的独有工艺路线 ,,, ,,,,,不只解决了石英玻璃基板原资料的纯度、均匀性难题 ,,, ,,,,,同时实现了原资料绿色造作。。。 。 。。。石英院还引入多刀切割、安全急剧磨抛工艺 ,,, ,,,,,创造性地开发了熔拉造坯、数控倒角等技术 ,,, ,,,,,解决了石英玻璃基板加工精度的难题。。。 。 。。。从基板原资料造作到产品加工 ,,, ,,,,,石英院形成专利20余项 ,,, ,,,,,行业尺度、国军标及国度尺度10余项 ,,, ,,,,,开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品 ,,, ,,,,,不仅逐步代替进口 ,,, ,,,,,实现了集成电路蹬酌高机能石英玻璃关键资料及制品的国产化 ,,, ,,,,,并且出口欧洲、日本等国。。。 。 。。。

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